Оптическая диагностика дефектов в слоистых периодических наноструктурах
Наименование публикации | Оптическая диагностика дефектов в слоистых периодических наноструктурах |
Тип публикации | Статья |
Библиографическое описание | Оптическая диагностика дефектов в слоистых периодических наноструктурах /Веревкина К.Ю., Веревкин И.Ю., Яцышен В.В. / НБИ технологии. 2022. Т. 16. № 1. С. 19-26. |
Аннотация | - |
Ключевые cлова | - |
Год публикации | 2022 |
Автор(ы) |
Веревкина Ксения Юрьевна
Яцышен Валерий Васильевич
|
Электронная копия публикации | - |